誘導真空熱処理炉
コンサークでは、抵抗加熱に代わる方法として、高温誘導加熱式真空炉を幅広く取り揃えております。非常に頑強な構造の誘導加熱装置は、2500℃を超えるような高温熱処理や、CVD、VCIなど難度の高いアプリケーションに向いています。加熱ワークの投入は上部投入式またはボトム投入式から選べます。
真空誘導加熱炉ではシリンダー型静止加熱コイルを使用し、コイルにはグラファイトサセプタと炭素系絶縁を施しています。
特徴
- 誘導真空熱処理炉ではシリンダー型静止加熱コイルを使用しており、コイルにはグラファイトサセプタと炭素系絶縁を施しています。絶縁とサセプタはプロセスのタイプやお客様のご要望に合わせて設計いたします。
- ホットゾーン内部でプロセスガスレトルト（蒸留器）/ 格納容器の役割を果たすソリッドサセプタまたは急冷用コンサーク「ミニサセプタ」
- 高温での耐久性に非常に優れています。内部に接続部、絶縁体、ジョイントなどがないので熱サイクル、熱蒸着、熱凝縮などの影響を受けません。
- インダクトサーム製誘導電源とコイル（シングルゾーンまたはマルチスイッチ式）
- 1400℃までは自動格納式熱電対、2500℃までは放射温度計で加熱コントロール
- パイプライントラップ、フィルター付き中真空ポンプ装置
- 強制ガス冷却装置でサイクルタイム短縮、生産性向上
- プロセスに合わせて手動または自動ガス流量コントロール装置
- ボトム投入式装置の場合は完全一体型材料投入装置が付いています
- 豊富な経験と実績。コンサークグループでは特殊なアプリケーション用のカスタム装置を含む多数の納入実績があります。
- コンサークの真空熱処理炉では最先端のPLCおよびPC SCADAを使用し完全自動化制御を行います。データはすべてPCに記録・表示され、分析、品質管理が容易です。炉体PCをインターネットに接続していただくとコンサークからのソフトウェアアップデートやオンラインサポートをご利用できます。
- ご要望に応じて装置に必要な相互接続、冷却水・エア配管工事、配線工事もご提供可能です。
- コンサークでは、お客様工場での据付を迅速にトラブルなく行うため、出荷前に装置を仮組みし動作テストを行います。
仕様
型式 チャージサイズ
| 直径 (mm) | 高さ (mm) | |
| FVB 86-122-150 | 122″(1220) | 150″(1500) |
| FVB 96-150-150 | 150″(1500) | 150″(1500) |
| FVB 96-150-180 | 150″(1500) | 180″(1800) |
| FVB 96-180-180 | 180″(1800) | 180″(1800) |
| FVB 106-200-200 | 200″(2000) | 200″(2000) |
| FVB 106-250-150 | 250″(2500) | 150″(1500) |
アクセサリ
- ドライスクリューポンプ装置
- パイプラインフィルター/トラップ
- ステンレス製チャンバー内壁
- 外部冷却水装置（開放式または密閉式）
- 据え付けサービス
- 手動または自動材供装置
- プロセス加熱サイクル最適化
- 内部強制ガス冷却装置
